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一种花洒类匀气盘立车加工定位治具及其工作方法技术

来源：花匠小妙招时间：2026-01-06 10:38

本发明专利技术涉及机械加工技术领域，特别涉及一种花洒类匀气盘立车加工定位治具，包括底座、定位筒、压盖、筒夹、压帽和快速夹钳；匀气盘的小孔面置于底座和压盖之间，由螺钉C固定，压盖上安装多组快速夹钳，轴向压紧小孔面；气体管由压盖的中心孔C伸出，并穿入定位筒和花瓣式筒夹，筒夹用于填充定位筒和气体管之间的缝隙，压帽穿过筒夹连接定位筒使筒夹弹性形变径向抱死气体管。本发明专利技术待定位的零件匀气盘为机加件和焊接组装而成，通过底座、盖板、定位筒将匀气盘固定，并将小孔面和气体管保护起来，零件为中空结构，直接加工气体管，零件上面表面也不会产生凹陷，保证气体管相对于小孔面的垂直度。气体管伸出较长，也不会因为车削力使进气管弯曲。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械加工，特别涉及一种花洒类匀气盘立车加工定位治具及其工作方法。

技术介绍

1、花洒式匀气盘中的气体管式与cvd设备中的采用螺纹形连接，气体管与匀气盘小孔面的垂直度要保证在0.1mm之内，因此加工过程中要以匀气盘小孔面为定位基准，加工气体管的连接螺纹。利用立式车床加工，保证螺纹相对于匀气盘小孔面的垂直度，装配后小孔面不会产生倾斜，小孔面与晶圆之间距离一致，气体落到晶圆上才能一致。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本专利技术公开了一种花洒类匀气盘立车加工定位治具及其工作方法。

2、具体技术方案如下：

3、一种花洒类匀气盘立车加工定位治具，用于匀气盘的定位，匀气盘为中空结构，包括互相垂直的小孔面和气体管，包括底座、定位筒、压盖、筒夹、压帽和快速夹钳；所述匀气盘的小孔面置于底座和压盖之间，由螺钉c固定，压盖上安装多组快速夹钳，轴向压紧小孔面；气体管由压盖的中心孔c伸出，并穿入定位筒和花瓣式筒夹，筒夹用于填充定位筒和气体管之间的缝隙，压帽穿过筒夹连接定...

【技术保护点】

1.一种花洒类匀气盘立车加工定位治具，用于匀气盘(1)的定位，匀气盘(1)为中空结构，包括互相垂直的小孔面(11)和气体管(12)，其特征在于：包括底座(2)、定位筒(3)、压盖(4)、筒夹(7)、压帽(8)和快速夹钳(9)；所述匀气盘(1)的小孔面(11)置于底座(2)和压盖(4)之间，由螺钉C(45)固定，压盖(4)上安装多组快速夹钳(9)，轴向压紧小孔面(11)；气体管(12)由压盖(4)的中心孔C(47)伸出，并穿入定位筒(3)和花瓣式筒夹(7)，筒夹(7)用于填充定位筒(3)和气体管(12)之间的缝隙，压帽(8)穿过筒夹(7)连接定位筒(3)使筒夹(7)弹性...

【技术特征摘要】

1.一种花洒类匀气盘立车加工定位治具，用于匀气盘(1)的定位，匀气盘(1)为中空结构，包括互相垂直的小孔面(11)和气体管(12)，其特征在于：包括底座(2)、定位筒(3)、压盖(4)、筒夹(7)、压帽(8)和快速夹钳(9)；所述匀气盘(1)的小孔面(11)置于底座(2)和压盖(4)之间，由螺钉c(45)固定，压盖(4)上安装多组快速夹钳(9)，轴向压紧小孔面(11)；气体管(12)由压盖(4)的中心孔c(47)伸出，并穿入定位筒(3)和花瓣式筒夹(7)，筒夹(7)用于填充定位筒(3)和气体管(12)之间的缝隙，压帽(8)穿过筒夹(7)连接定位筒(3)使筒夹(7)弹性形变径向抱死气体管(12)。

2.根据权利要求1所述的花洒类匀气盘立车加工定位治具，其特征在于：所述底座(2)为圆盘形，中心开设中心孔a(24)，便于小孔面(11)取下，同心开设凸出的定位环(23)，用于限位匀气盘(1)的小孔面(11)外径；定位环(23)上相对开设一对定位孔a(21)，互成120°开设三个安装孔a(22)。

3.根据权利要求2所述的花洒类匀气盘立车加工定位治具，其特征在于：所述压盖(4)为圆盘形，中心开设中心孔c(47)，用于容纳气体管(12)穿出，相对开设一对定位孔b(41)，互成120°开设三个安装孔b(42)、三个安装口(48)和三个夹口(49)；中心孔c(47)的外侧加工环形安装槽(43)，安装槽(43)上开设多组安装孔d(44)；由螺钉c(45)加设平垫圈(46)旋入安装孔b(42)和安装孔ａ，将底座(2)和压盖(4)上下夹紧匀气盘(1)的小孔面(11)。

4.根据权利要求3所述的花洒类匀气盘立车加工定位治具，其特征在于：所述定位孔a(21)和定位孔b(41)内镶嵌衬套(5)，并对应插入定位销(6)，对底座(2)和压盖(4)角向定位。

5.根据权利要求3所述的花洒类匀气盘立车加工定...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘虹，丁振，赫泽，
申请(专利权)人：北京富创精密半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：