花篮和片盒清洗机

 花篮/片盒清洗机-华林科纳CSE

完美适应当前所有型号的花篮和片盒、传输片盒、前端开口片盒 （Foup片盒）的清洗和干燥系统

优点

装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒—或不同晶圆尺寸的花篮和片盒，同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒（Foup片盒） 三种设备尺寸满足客户特殊需求

> CleanStep I – 用于4组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次4组花篮和片盒 清洗产能：每小时12组花篮和片盒

> CleanStep II – 用于8组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次8组花篮和片盒 清洗产能：每小时24组花篮和片盒

> CleanStep III – 用于6组前端开口片盒（Foup） 加载和清洗能力：每次6组前端开口片盒（Foup片盒） 清洗产能：每小时18组前端开口片盒（Foup片盒）

> 适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼 (Cleanstep I/II)

> 适用于所有片盒一次清洗过程

> 或是同时4组花篮和片盒，或是12个花篮(Cleanstep I/II)

> 简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换 > 旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒

> 通过控制系统对自锁装置的检测，达到安全加载片盒和花 篮，及其运行

特征和优点

可应用不同化学品（稀释剂）来清洗

> 泵传输清洗液

> 计量调整可通过软件设置控制操作

热水喷淋装置

> 热水一般由厂务供应 — 标准化

> 或有一个体积约100升的热水预备槽（循环泵和加热棒用于热水预备槽—选项）

 笼子

> 带有可变速旋转的控制的高扭矩伺服电机（按照加载量和设备配置，最大旋转速度200rpm,） > 旋转的不锈钢笼子

> 会自动停止工作（运行过程中出现失衡状态时）

热空气干燥

> 顶端吹下热空气

> 采用根据设备待机和工艺运行模式的可调风量的风扇装置

> 不锈钢架上装有加热器，可以温度控制

> 软件监控温度

> 带有反压控制的高效过滤器

辅助功能和操作控制

> 触摸屏安装在前面—标准化

> 也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制—选项

其他特征

> 工艺腔室内LED灯光照明

> 可安装去静电装置和电阻率监测装置——选项

> 稳定、亚光不锈钢笼子

> 材料的外壳—可选择符合FM4910标准

> PP材料的工艺腔室—可选择符合FM4910标准

> 设备前面带有滑动门—标准化为手动/可选择自动

> 设备前面的滑动门在做维护时可完全打开

> 其他种类的花篮和片盒相适应的组件—选项

图形化的界面

> 易于操作和控制

> 10“触摸屏PLC控制器

> SECSII GEM接口—选项

> 授权访问的密码保护

> 可以编辑40多个菜单，每个菜单可有50步

> 可变量数据输入（时间、温度、速度等）

> 设备背面安装第二个触摸屏—选项

更多的花篮和片盒清洗机设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网（www.hlkncse.com），现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。

1.概述

1.1 设备概况：

主要功能：本设备主要手动搬运方式，通过对片盒化学液体浸泡、冲洗、漂洗、鼓泡、快排等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果。

1.1.1 设备名称：花篮和片盒清洗机                                                               1.1.3 整机尺寸(参考)：约1700mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；

1.1.4 操作形式：手动

1.2 设备组成

该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成  1.3 设备描述

l 此装置是一个手动的处理设备；

l 设备前上方有各阀门、工艺流程的控制按钮、指示灯、触摸屏(PROFACE/OMRON)、音乐盒等，操作方便；

l 主体材料：德国进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；

l 台面板为德国10mm PP板；

l DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，需满足18MW去离子水水质要求；

l 采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成

l 排风：位于机台后上部

l 工作照明：上方防酸照明

l 安全考虑：

1. 设有EMO(急停装置)

2. 强电弱点隔离

3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面

4. 设备排风口加负压检测表

5. 设备三层防漏  漏盘倾斜  漏液报警  设备整体置于防漏托盘内

二、设备结构及主要工艺概况

2.2台面布局：操作台面高度为950mm，适合于身高为1550到1800mm人员操作。

相关知识

太阳能电池片清洗花篮
母亲节礼物盒手提花盒花篮鲜花花艺包装盒插花袋送妈妈的创意生日 长沙
小型花篮 尺寸在高0.8米以下的花篮。主要要于生日、探视病人、礼品花篮、果蔬花篮、艺术花篮等。
河北推车式消毒机 200升汽油喷药机 清洗机鲁强机械
保鲜盒生产厂家
昆虫标本盒 植物标本盒 昆虫生活史标本盒
「其他塑料加工」太阳能晶片花篮 花篮 花篮批发 工艺花篮 各种花篮 清洗花篮
如何洗番茄才能让它干净？（一步步教你清洗番茄，让你吃的更健康）
各式盖盒
消费者注意了：高价“鹿茸片”=骨胶+毛发

网址: 花篮和片盒清洗机 https://www.huajiangbk.com/newsview554756.html