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大直径太阳能硅片高效低损耗线切割技术研究

来源：花匠小妙招时间：2025-12-29 09:36

DOI: 10.3969/j.issn.1002-6673.2012.06.068

韩其锋吴明明

1.衢州学院,浙江衢州,3240002.衢州学院,浙江衢州,324000

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摘要：随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显.传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的要求.本文对硅片切割方法、游离磨料多线切割基本原理、线切割硅片材料去除机理以及切割工艺因素进行了综述.

关键词：

太阳能硅片大直径游离磨料多线切割高效

分类号：

TG68(金属学与金属工艺)

资助基金：

浙江省大学生科技创新活动计划(新苗人才计划) ( 2011R427011 )

在线出版日期：

2013-07-01 （万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：

3 ( 171-173 )

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