中国科学院沈阳科学仪器申请一种超高真空环境下使用的加热视窗专利，解决长时间运行后分子束外延设备腔体内物质沉积于视窗表面的问题

金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请一项名为“一种超高真空环境下使用的加热视窗”的专利，公开号 CN 119145045 A ，申请日期为 2024 年 11 月。

专利摘要显示，本发明涉及应用于分子束外延设备配件，具体地说是一种超高真空环境下使用的加热视窗，观察窗壳体的前后两侧分别与腔体接管及观察设备密封连接，观察窗壳体上开设有视窗开口通孔，镀膜加热元件、遮挡隔热片及加热视窗绝缘固定组件均位于视窗开口通孔内；镀膜基底上镀有导电膜，镀膜加热元件的前后两侧均设有遮挡隔热片；镀膜加热元件及遮挡隔热片的外围沿周向设有多个加热视窗绝缘固定组件，用于支撑固定镀膜基底及遮挡隔热片；真空加热电极引线的一端与观察窗壳体密封连接、另一端接电源，引线端头夹持在导电膜的接触点。本发明使设备环境内元素物质无法沉积于石英玻璃视窗表面，解决长时间运行后分子束外延设备腔体内物质沉积在视窗表面的问题。

本文源自：金融界

作者：情报员

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