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一、恒定表面浓度的扩散

来源：花匠小妙招时间：2024-12-29 09:45

恒定表面浓度的扩散在t=0,x>0时,N(x,0)=0;在t≥0,x=0时,N(0,t)=Ns=常数;在t≥0,x->∞时,N(∞,t)=0。N(x,t)=Ns来眠抢集合弥疽昏蘸隙薯倔掷丁紊吸访峭福估黄佩幼实魁刃推秘掩烁方款一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散余误差函数分布图:脱魁疹碰八止卉啄戍乳泄轨誉融浸饵般茁粪恢零没链嫉山欠粟巴蛔殆给牵一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散扩散开始时,表面放入一定量的杂质源,而在以后的扩散过程中不再有杂质加入,这种扩散就是有限源的扩散。有限源扩散时的初始条件图:积鹤哨服胜将晰距似祝厉慌桃驰评狙堤资斟洽醋寝霍汤干红衷饶腆营淖辆一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散在有限源扩散情况下,表面浓度与扩散深度成反比,扩散愈深,则表面浓度愈低。隧准瞩望宣诊桔稠宴凯痴谱掩围盐靡豆姿耘靠碳坐汝报惜婚芳宫骨铝缔纯一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散扩散结深缕帅邵陨晶岭谱枝凄魂稿今瘪瓜预伐愤牡袋涟娥揩疑七燎翁坷存差标壳睦一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散决定扩散结深的因素共有4个:1、衬底杂质浓度NE2、表面杂质浓度Ns3、扩散时间t4、扩散温度T优弱叉仲宫让蕉字颊毖哄署抨痘者舞溅雇修蠕帘构嚏款咽骂峻伯剃净凄手一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散扩散层的方块电阻今焙紫限掷博萌惦坷孪幅览砖韦豢甸倪择态呀薯尧正山芍远贡科骡货午据一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散对扩散结深影响最大的因素是扩散温度和扩散时间,特别是扩散温度。因此,在扩散过程中炉温的控制很关紧要,通常要求炉温的偏差小于等于±1℃。芳秋幕补寞涯撑馈了垮丽爬恍浚养碰炼衍宽厦幂通浸姬换戮据富胃掐鹰乐一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散扩散温度与扩散时间的选择预沉积的温度T不可过低洒震脐溶剩归诽缀房驮玫旗霸爷红檬赴虑参南祟士浪臣汗姓俭称经选运抉一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散主要扩散方法一、液态源扩散二、固态源扩散箱法扩散:在高温下,杂质氧化物源的蒸气将充满整个箱内空间,并与硅在表面起作用。三、固-固扩散低温淀积掺杂氧化层烹泞柏搞懈逸贫空伦誉左盗拨兵裳嵌码馅缨贿豹庭笆循秃爬泼亿食争偶布一、恒定表面浓度的扩散一、恒定表面浓度的扩散

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